1、高分辨率觀察的顯微鏡，常規顯微鏡的分辨率0.35微米是極限，激光共聚焦顯微鏡的分辨率為0.1-0.2微米，所以在亞微米級觀察上可以代替電子顯微鏡（無法做元素分析）。2、高精度表面形態測量，檢測細微表面的高度差異，線寬測量、體積、表面積，異物，雜質等的大小，表面粗糙度分析。3、三維形貌顯微鏡。