決定顯微鏡性能的主要因素是分辨率，也叫分辨本領或解像力。但是放大率、清晰度等物理量與分辨本領有著密切關系。

顯微鏡是復雜的共軸光學系統。這個系統由光源、孔徑光欄、聚光鏡和物鏡等主要成像要素所構成。目鏡只不過是把物像直接放大并投影到屏幕(包括人類視網膜)上的光學部件而已.光源可能是非相干光源如日光、燈光，也可能是相干光源如點光源。

顯微鏡成像光路中的關鍵性成像部件是物鏡。從光源到物鏡前透鏡之間的無數個平面，在物鏡的后方均有其相對應的共扼平面。但是根據阿貝理論，顯微鏡里的物平面O與之相對應的共扼平面即像平面O‘和光源I.平面與之相對應的共扼I,‘平面，是成像系統中重要的兩對平面。

在設備中孔徑光欄所限定的入射光束的張角范圍內，經過聚光鏡直接變成照射標本的照明光源。孔徑光欄平面上的光在物鏡后焦面或在其附近成像。首先孔徑光欄限定成像光束所必需的入射角.這就意味著顯微鏡下觀察物體的適宜的亮度由此決定。其次來自標本的立體結構的不同平面上的成像光線也由此來決定。總之設備中的物像的適度反襯度和物像輪廓的清晰度由此來決定。

影響圖像清晰度可以設法校正一種像差是像散。和透射電鏡中一樣，掃描電鏡鏡筒的下部也裝有一個消像散器。應該認真調節消像器才能保證得到好的圖像。如果像散量過大，消像散器的校正場已不足補償其缺陷，就必須盡快清洗電鏡的光路區，常用顯微鏡型號景深有多大尤其是本透鏡和末光闌部分。

顯微鏡校準的方法很簡單：

 1、顯微鏡的溯源由于各種金相顯微鏡的用途不同，故其類型、結構及精度亦不同，因而溯源關系和方式也不同。通過不同的技術手段和方法，我們終可溯源到“單刻線樣板標準器組”和“0.01mm標準測微尺”標準器組。

 2、校準項目的設立

 2.1、物鏡場曲將一物鏡安裝好，將0.01mm標準測微尺放在工作臺上并壓緊；旋轉調焦旋鈕，將焦點調整在測微尺的中間，視場中心成像清晰，此時將千分表測頭與工作臺表面相接觸并對好表的零位；再次旋轉調焦旋轉，把焦點調整到測微尺的邊緣，使視場邊緣成像清晰。觀察千分表，其大偏移量即為該物鏡的場曲誤差，其余物鏡以此類推進行校準。物鏡場曲誤差的指標如下：10X<0.2mm、25X<0.1mm、40X<0.07mm、63X<0.065mm、100X<0.04mm

 2.2、物鏡放大倍數的正確性裝上10X標準目鏡和被檢物鏡，將0.01mm標準沒微尺放在工作臺上并壓緊。觀察時測微尺應與目鏡中的分劃板相符合，其偏移量測是放大倍數的誤差。其余物鏡以此類推進行校校準，其誤差不大于5%

 2.3、目鏡分劃板的準確度將帶分劃板目鏡的鏡頭旋下，把分劃板放置在萬工顯工作臺上并調好焦距；調整工作臺，使分劃板的水平線與萬工顯縱向導軌行程平行并對好零位，按每20格測量一次，直到第100格，其誤差不大于5um

 2.4、物鏡成像清晰范圍用被檢物鏡及10X目鏡對測微尺或金相試樣進行調焦，使成像清晰。當視場中心像清晰時，測得視場內的成像清晰范圍的誤差不低于60%

 2.5、各物鏡相對于目鏡的格值裝上被檢儀器的10X目鏡，將0.01mm標準測微尺(推薦使用隨機0.01mm測微尺)放在工作臺上并壓緊；調整測微尺標尺軸線與儀器目鏡分劃板標尺軸線平行，并讀出目鏡分劃板i條刻線里包含測微尺n條刻線數，該物鏡相對于目鏡的格值為：C=n/i*0.01mm.其余物鏡的格值以此類推進行校準。